纯净的六氟化硫气体是无毒的，但是当六氟化硫不纯或者是分解的时候就会产生毒性。从有关部门的试验及研究结果可知，六氟化硫气体的毒性主要来自5个方面。

1、电器设备内的六氟化硫气体在高温电弧发生作用时而产生的某些有毒产物。

2、六氟化硫产品不纯，出厂时含高毒性的低氟化硫、氟化氢等有毒气体。

3、电器设备内的六氟化硫气体及分解物与电极(Cu-W合金)及金属材料(AL、Cu)反应而生成某些有毒产物。

4、电器设备内的六氟化硫气体分解物与其内的水分发生化学反应而生成某些有毒产物。

5、电器设备内的六氟化硫气体及分解物与绝缘材料反应而生成某些有毒产物。如与含有硅成分的环氧酚醛玻璃丝布板(棒、管)等绝缘件;或以石英砂、玻璃作填料的环树脂浇注件、模压件以及瓷瓶、硅橡胶、硅脂等起化学作用，生成 SiF4、Si(CH3)2F2 等产物。